Etching System MODEL DES-106-254A ドライエッチング装置
メーカー：Plasma System Corp.製
品名：Dry Etching System (ドライエッチング装置)
型番：DES-1060254A
製造年：不明
ブザーは着いていません。真空度は20Pa位まで引きます。
手動及び自動の動作確認を行いました。動作動画をご参照願います。
電源と酸素ガスを接続すれば使用できます。写真と動画はガスは大気で放電させています。
装置電源：単相200V 50/60Hz 15A
ポンプ電源：3相200VA 50/60Hz 10A
税込価格(円)：Sold Out
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